一、依國科會115年11月4日科會工字第1150077950號函辦理。

二、本計畫申請內容摘要如下：

(一)本專案鼓勵國內大專校院研究團隊，依前瞻半導體研究所需的關鍵設備自主研製與原型設備優化，突破既有設備限制，投入半導體製程、先進封裝或量測相關軟硬體設備之研發。

(二)推動範疇包括(但不限於)後摩爾時代次奈米矽基半導體、非矽基半導體及矽光耦合之關鍵設備、次系統或模組等，使我國半導體前瞻研究能有突破性的進展，維持我國半導體研究的國際領先地位。

(三)計畫主持人資格：須符合「國家科學及技術委員會補助專題研究計畫作業要點」規定。

(四)本專案計畫申請研發類別分為以下二類(限擇一申請)：

１、類別一：創新關鍵模組或次系統，每件計畫每年以2,500 萬元為上限。

２、類別二：完整創新設備，每件計畫每年以 5,000 萬元為上限。

(五)申請計畫內容請規劃為二年期計畫（計畫期程為116 年6 月1 日至118 年5 月31 日）。

(六)本計畫分構想書及詳細計畫書兩階段申請：

１、構想書階段：於國科會學術研發服務網線上申請，請案」->計畫類別: 「前瞻研究驅動之設備研發計畫構想書」。

２、詳細計畫書階段：構想書獲推薦者，計畫主持人須於規定時間內，至國科會學術研發服務網，於「專題類-隨到隨審計畫」，計畫類別點選「一般策略專案計畫」；研究型別請點選「整合型計畫」；計畫歸屬請勾選「工程處」；學門代碼請勾選「E9887-前瞻研究驅動之設備研發計畫」，提詳細計畫書。

三、本計畫未獲補助案件，恕不受理申覆。

四、計畫構想書徵求說明會資訊：

(一)時間：115年11月17日(星期二)下午 2 時

(二)地點： 線上視訊會議

(三)參與方式：請事先報名，會議視訊網址將於11月13日前e-mail 通知。

(四)報名網址：https://forms.gle/tVVsNnuWEERLf3Me7

五、專案計畫聯絡人：

(一)計畫承辦人：陳淑鈞研究員(國科會工程處)電話：(02) 2737-7775 e-mail：scnchen@nstc.gov.tw。

(二)有關計畫申請系統操作問題，請洽國科會資訊系統服務專線電話：0800-212-058、(02) 2737-7590、7591、7592e-mail：misservice@nstc.gov.tw。