財團法人工業技術研究院量測技術發展中心113年度第二批次分包研究計畫案
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財團法人工業技術研究院量測技術發展中心分包研究計畫計1案，擬徵求合作對象，有關計畫名稱、金額以及規格說明詳附件，欲瞭解計畫詳細內容，請逕洽該案負責人。
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分包研究項目：EUV光源開發，分包經費30萬元，經費編列原則詳見公告(分包項目與經費可能調整，將依主計畫審核結果為準。)
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有意願申請者，請於113年03月25日前將分包研究計畫申請書E-mail至YuanRuLee@itri.org.tw李小姐。
徵求單位:
工業技術研究院量測技術發展中心
工業技術研究院 量測技術發展中心 113年度第二批次分包研究計畫公告.pdf
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